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产品说明
(1) 应用特点
○全配件採金属件。(若有需要刮油片亦可选用耐高温橡胶之材质)。
○可耐高温,其耐热温度近达150 °C。
(2) 用途
○扩散炉、熔接机等半导体製造设备。
○热处理设备。
○真空环境用途(无塑胶、橡胶等製品之气体释出)。